كربيد السيليكون يتميز السيراميك (SiC) بالتوصيل الحراري المتميز، ومقاومة درجات الحرارة العالية، ومقاومة التآكل والتآكل، ويتم اعتماده على نطاق واسع في تصنيع أشباه الموصلات، والطاقة الكهروضوئية الجديدة، والحماية الحرارية للفضاء، والمعادن ذات درجات الحرارة العالية. ويهيمن على أداء خدمتهم مورفولوجيا الحبوب وظروف حدود الحبوب والإجهاد المتبقي.
يعمل EBSD كطريقة توصيف أساسية لتحليل اتجاه الحبوب والملمس والعيوب الدقيقة في SiC. تعمل بيانات EBSD الموثوقة على توجيه تحسين عملية التلبيد وتجنب فشل المكونات. يحدد الإعداد الدقيق للعينات نجاح فهرسة EBSD لسيراميك SiC الصلب والهش. ورق الصنفرة القياسي يفشل في الطحن؛ مطلوب أقراص الماس بالإضافة إلى تلميع اهتزازي.
الشكل 1: صورة مجهرية لعينة السيراميك من كربيد السيليكون (مقياس: 300 ميكرومتر)
الشكل 2: صورة مجهرية لعينة السيراميك من كربيد السيليكون (مقياس: 300 ميكرومتر)






